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MEMS技术应用使得金属氧化物(MOX)气体传感器在晶圆级大规模生产中得以广泛应用,大大降低了硅晶圆制造的成本。这些气体传感器装置适用于一氧化碳(CO)和各种挥发性有机化合物,如:如乙醇、和甲苯的测量。出于健康和安全考虑,这些传感器的应用主要包括环境监测、生物研究、工业控制、便携式酒精测量仪和家庭空气监测系统。MOX气体传感器采用MEMS技术,大大降低了制造成本。但是这些传感器也必须经过测试,这与典型半导体器件的制造和测试相比是一组独特的挑战。不断减少燃油消耗量和蒸发排放量的要求正促使制造商及其供应商制定新的路线图。内燃机是世界上所有严苛环境法规关注的重点。TDK集团基于高精度压力传感应用的创新传感器平台开发了新的可靠燃油压力传感器,后者有助于缓解燃油消耗的增长,帮助制造商满足新排放法规的要求。压力传感器在和腐蚀性介质接触的情况下能长时间工作是实现可靠车载诊断和控制系统的先决条件,许多情况下也是强制要求的。在当今的许多压力传感器解决方案中,常使用弹性材料连接传感元件和壳体,并和待测介质接触。